О ПРОМЫШЛЕННОМ ПРИМЕНЕНИИ ЭНЕРГОДИСПЕРСИОННЫХ РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНЫХ АНАЛИЗАТОРОВ
Рубрики: ТОЛЩИНОМЕТРИЯ ИЗДЕЛИЙ И ПОКРЫТИЙ
Авторы:
Тип:
Статья
Страницы:
с 9
по 12
Статус:
Опубликован
Получено:
18.08.2016
Одобрено:
20.09.2016
Опубликовано:
20.09.2016
Язык материала:
русский
Ключевые слова:
рентгенофлуоресцентный анализ, элементный состав, многослойное покрытие, толщина покрытия
Аннотация (русский):
Статья посвящена вопросам эффективного применения энергодисперсионных рентгенофлуоресцентных анализаторов в различных областях техники и промышленности. Рассмотрены основные принципы работы типичных систем, приведены примеры результатов измерений.
Статья посвящена вопросам эффективного применения энергодисперсионных рентгенофлуоресцентных анализаторов в различных областях техники и промышленности. Рассмотрены основные принципы работы типичных систем, приведены примеры результатов измерений.
Ключевые слова:
рентгенофлуоресцентный анализ, элементный состав, многослойное покрытие, толщина покрытия
рентгенофлуоресцентный анализ, элементный состав, многослойное покрытие, толщина покрытия
1. Rößiger V., Nensel B. Handbook of Practical X-Ray Fluorescence Analysis. Springer, 2006, 889 p. (in German).
2. Glaum M. Fortschritte in der Analyse kleiner Strukturen mit der µ-Röntgenfluoreszenz Vorteile des Array-Modes und Halo-freier Kapillar-Optiken beim Messen von Solder-Bumps und Copper Pillar. Application note, 2015 (in German).
3. Rößiger V., Zur Prozessanalytik von Dünnschicht-Solarzellen mit Röntgenfluoreszenz. Galvanotechnik, 2009, issue 6, pp. 1400-1407 (in German).
4. Dill S., Rößiger V. Coating thickness measurement of thin gold and palladium coatings on printed circuit boards using X-ray fluorescence. Circuit World. 2011, v. 37, no. 2, pp. 20-26.
