В статье изложены особенности исследования электрофизических свойств тонких пленок ZnO:Al с помощью проводящих методик атомно-силовой микроскопии. Проведенное исследование электрофизических свойств показало, что ток протекает частично по вершинам и преимущественно по границам зерен. В режиме туннельной атомно-силовой микроскопии построены локальные ВАХ исследуемой пленки.
альтернативная энергетика, нанодиагностика, оксид цинка, сканирующая микроскопия сопротивления растекания
1. Бобков А.А., Максимов А.И., Мошников В.А., Сомов П.А., Теруков Е.И. Наноструктурированные материалы на основе оксида цинка для гетероструктурных солнечных элементов // Физика и техника полупроводников. 2015. Т. 49. № 10. С. 1402-1406.
2. Бобков А.А. Исследование микроструктуры и сенсорных свойств наноструктурированных слоев оксида цинка // Молодой ученый. 2014. № 7. С. 115-118.
3. Рябко А.А., Лашкова Н.А. Синтез 1-D структур ZnO для фотовольтаики нового поколения // Молодой ученый. 2016. № 6 (110). С. 168-173.
4. Moshnikov V.A., Gracheva I.E., Kuznezov V.V. Maximov A.I., Karpova S.S., Ponomareva A.A. Hierarchical nanostructured semiconductor porous materials for gas sensors // Journal of non-crystalline solids. 2010. Т. 356. № 37-40. С.2020-2025 (Scopus).
5. Давыдов С.Ю., Мошников В.А., Федотов А.А. Адсорбция газов на полупроводниковых оксидах: изменение работы выхода // Письма в Журнал технической физики. 2004. Т. 30. № 17. С. 39-44.
6. Сенькин А.Е., Селезнев Б.И., Максимов А.И., Мошников В.А. Микропроцессорный газоаналитический модуль // Вестник Новгородского Государственного Университета. 2004. № 26. С. 161-168.
7. Лашкова Н.А., Максимов А.И., Матюшкин Л.Б., Мошников В.А. и др. Локальные электрофизические свойства проводящих пленок ZnO // Бутлеровские сообщения. 2015. Т. 42. № 6. С. 48-53.
8. Benzarouk H., Drici A., Mekhnache M., Amara A., Guerioune M., Bernede J.C., Bendjffal H. Effect of different dopant elements (Al, Mg and Ni) on microstructural, optical and electrochemical properties of ZnO thin films deposited by spray pyrolysis (SP). // Superlattices and Microstrucrures. 52 (2012) 594-604.
9. Лашкова Н.А., Максимов А.И., Рябко А.А., Бобков А.А., Мошников В.А., Теруков Е.И. Синтез наноструктур на основе оксида цинка для создания гетероструктурных фотовольтаических элементов / ФТП. 2016. Т.50. №9. С. 1276-1280.
10. Стребков Д.С., Пореев И.А., Чирков В.Г., Ерхов М.В. Технологии получения и использования возобновляемых источников энергии для АПК // Техника и оборудование для села. 2008. №5. С. 29-31.
11. Бессель В.В., Беляев А.А., Зверев А.М. Энергосбережение в магистральном транспорте газа за счет использования возобновляемых источников энергии // Территория Нефтегаз. 2013. №9. С. 84-93.
12. Мошников В.А., Спивак Ю.М., Алексеев П.А., Пермяков Н.В. Атомно-силовая микроскопия для исследования наноструктурированных материалов и приборных структур: Учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2014. 144 с.
13. Spivak Y.M., Moshnikov V.A. Features of photosensitive polycrystalline PbCdS layers with a network-like structure // Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 4 (1) (2010) 71-76.
14. Мошников В.А., Спивак Ю.М. Атомно-силовая микроскопия для нанотехнологии и диагностики: Учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2009. 80 с.
15. Александрова О.А., Титков А.Н., Кононова И.Е., Максимов А.И., Мараева Е.В., Мошников В.А., Муратова Е.Н., Налимова С.С., Пермяков Н.В., Спивак Ю.М., Алексеев П.А. Диагностика материалов методами сканирующей зондовой микроскопии. Учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2012. 172 с.
16. Лашкова Н.А., Пермяков Н.В., Максимов А.И., Спивак Ю.М., Мошников В.А. Анализ локальных областей полупроводниковых нанообъектов методом туннельной атомно-силовой микроскопии // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки №1 (213). 2015. С. 31-42.