01167naa#a2200217#i#450# RU\\bibl\91378 20251214074146.7 2658-3488 20241220b2024####ek#y0rusy0150####ca RU ИССЛЕДОВАНИЕ СКОРОСТИ УДАЛЕНИЯ ПИРОГЕННОГО SiO2 МЕТОДОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ Журнальная статья Брянск Брянский государственный технический университет 2024 7 с. Журнальная статья local Взаимодействие плазмы с поверхностью твердого тела. 533.924 Электрические полупроводниковые приборы. 621.382.2/.3 Адамов Артем Александрович Головко Алина Сергеевна Малаханов Алексей Алексеевич Васильева Юлия Олеговна Павлов Алексей Викторович naukaru.ru