00982naa#a2200193#i#450# RU\\bibl\88530 20241221131653.6 2658-6436 20240930b2024####ek#y0rusy0150####ca RU ПРИМЕНЕНИЕ СКАНИРУЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ В РЕВЕРС-ИНЖИНИРИНГЕ ЭЛЕКТРОННОЙ КОМПОНЕНТНОЙ БАЗЫ Журнальная статья Брянск Брянский государственный технический университет 2024 8 с. Журнальная статья local Электрические полупроводниковые приборы. 621.382.2/.3 Малаханов Алексей Алексеевич Пугачев Александр Анатольевич Маркова Валерия Константиновна naukaru.ru