00798naa#a2200181#i#450# RU\\bibl\8359 20260116085503.5 2308-8877 20151210b2015####ek#y0rusy0150####ca RUS RU Термическая обработка кремния: изменение морфологии поверхности Журнальная статья Воронеж Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова 2015 4 с. Журнальная статья local Козловский Артем Леонидович Калиекперов Малик Ерланович naukaru.ru