LDR 00945naa#a2200181#i#450# 001 RU\VORONEZHSKIY GOSUDARSTVENNYY LESOTEHNICHESKIY UNIVERSITET IMENI G.F. MOROZOVA\bibl\6a9c149432807fdbab860181 005 20261113121122.5 100 ## _a20201229b2020####ek#y0rusy0150####ca 101 0# _aRUS 102 ## _aRU 200 1# _aИССЛЕДОВАНИЯ ЗАВИСИМОСТИ ВЛИЯНИЯ ДОЛИ О2 НА ПОКРЫТИЯ TiOх ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ _eЖурнальная статья 210 1# _aВоронеж _cВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова _d2020 215 ## _a6 с. 608 ## _aЖурнальная статья _2local 675 ## _aФизика. 53 _zRUS 700 #1 _aВащилин _gВ.С. 700 #1 _aКривоножко _gЕгор Владимирович 856 4# _anaukaru.ru _u