00971naa#a2200205#i#450# RU\\bibl\6427 20240910002608.2 2219-0767 20150702b2015####ek#y0rusy0150####ca RUS RU Алгоритмическая основа моделирования отказов на глубоко-субмикронных технологиях Журнальная статья Воронеж Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова 2015 2 с. Журнальная статья local Чубур Кирилл Александрович Яньков Андрей Ильич Зольников Константин Владимирович Ачкасов Александр Владимирович naukaru.ru