00971naa#a2200205#i#4500001001400000005001700014011001400031100004100045101000800086102000700094200019300101210016900294215001000463608004500473700005600518700004200574700007000616700006400686856001500750RU\\bibl\642720240503044822.5##a2219-0767##a20150702b2015####ek#y0rusy0150####ca0#aRUS##aRU1#aАлгоритмическая основа моделирования отказов на глубоко-субмикронных технологияхeЖурнальная статья1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2015##a2 с.##aЖурнальная статья2local#1aЧубурgКирилл Александрович#1aЯньковgАндрей Ильич#1aЗольниковgКонстантин Владимирович#1aАчкасовgАлександр Владимирович4#anaukaru.ru