00834naa#a2200205#i#450# RU\\bibl\569 20241015145018.2 1992-5980 20130930b2013####ek#y0rusy0150####ca RUS RU Получение фотоактивных структур Si(n+)/Si(p)/Si(p+) методом ионно-лучевой кристаллизации Журнальная статья Ростов-на-Дону Донской государственный технический университет 2013 7 с. Журнальная статья local Ирха В. А. Чеботарев С. Н. Варавка Валерий Николаевич Пащенко А. С. naukaru.ru