00834naa#a2200205#i#4500001001300000005001700013011001400030100004100044101000800085102000700093200019000100210013000290215001000420608004500430700002200475700003200497700005600529700002800585856001500613RU\\bibl\56920240808205637.4##a1992-5980##a20130930b2013####ek#y0rusy0150####ca0#aRUS##aRU1#aПолучение фотоактивных структур Si(n+)/Si(p)/Si(p+) методом ионно-лучевой кристаллизацииeЖурнальная статья1#aРостов-на-ДонуcДонской государственный технический университетd2013##a7 с.##aЖурнальная статья2local#1aИрхаgВ. А.#1aЧеботаревgС. Н.#1aВаравкаgВалерий Николаевич#1aПащенкоgА. С.4#anaukaru.ru