LDR 00834naa#a2200205#i#450#
001     RU\\bibl\569
005     20240913141507.5
011 ## _a1992-5980
100 ## _a20130930b2013####ek#y0rusy0150####ca
101 0# _aRUS
102 ## _aRU
200 1# _aПолучение фотоактивных структур Si(n+)/Si(p)/Si(p+) методом ионно-лучевой кристаллизации
       _eЖурнальная статья
210 1# _aРостов-на-Дону
       _cДонской государственный технический университет
       _d2013
215 ## _a7 с.
608 ## _aЖурнальная статья
       _2local
700 #1 _aИрха
       _gВ. А.
700 #1 _aЧеботарев
       _gС. Н.
700 #1 _aВаравка
       _gВалерий Николаевич
700 #1 _aПащенко
       _gА. С.
856 4# _anaukaru.ru
       _u