LDR 00952naa#a2200181#i#450#
001     RU\\bibl\49694
005     20240609104145.7
011 ## _a2219-0767
100 ## _a20220408b2022####ek#y0rusy0150####ca
102 ## _aRU
200 1# _aПолупроводниковые технологии для реализации радиационно-стойких СБИС
       _eЖурнальная статья
210 1# _aВоронеж
       _cВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова
       _d2022
215 ## _a8 с.
608 ## _aЖурнальная статья
       _2local
675 ## _aНаука в целом (информационные технологии - 004). 00
       _aПрикладные науки. Общие вопросы. 60
       _z
700 #1 _aЖуравлева
       _gИрина Витальевна
700 #1 _aПопова
       _gЕлена Александровна
856 4# _anaukaru.ru
       _u