00881naa#a2200193#i#450# RU\\bibl\4867 20240429150728.1 2219-0767 20150224b2015####ek#y0rusy0150####ca RUS RU Выбор оптимальных запусков на технологических операциях полупроводникового производства Журнальная статья Воронеж Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова 2015 2 с. Журнальная статья local Лемешкин А. В. Акамсина Надежда Валериевна Сербулов Юрий Стефанович naukaru.ru