01168naa#a2200217#i#450# RU\\bibl\41062 20241011070040.5 2219-0767 20201207b2020####ek#y0rusy0150####ca RU Особенности технологического процесса изготовления микросхем космического назначения по технологии КМОП КНС Журнальная статья Воронеж Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова 2020 5 с. Журнальная статья local Прикладные науки. Общие вопросы. 60 Зольников Владимир Константинович Евдокимова Светлана Анатольевна Журавлева Ирина Витальевна Маклакова Елена Альбертовна Илунина Анна Александровна naukaru.ru