00953naa#a2200193#i#450# RU\\bibl\40460 20241115065522.5 2311-8873 20201111b2020####ek#y0rusy0150####ca RU ИМПУЛЬСНАЯ МОДУЛЯЦИЯ КАК СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ КАЧЕСТВА ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ Журнальная статья Воронеж Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова 2020 3 с. Журнальная статья local Инженерное дело. Техника в целом. Транспорт. 62 Кадырметов Анвар Минирович Бухтояров Владимир Николаевич Попов Петр Николаевич naukaru.ru