LDR 00953naa#a2200193#i#450# 001 RU\\bibl\40460 005 20241115065809.5 011 ## _a2311-8873 100 ## _a20201111b2020####ek#y0rusy0150####ca 102 ## _aRU 200 1# _aИМПУЛЬСНАЯ МОДУЛЯЦИЯ КАК СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ КАЧЕСТВА ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ _eЖурнальная статья 210 1# _aВоронеж _cВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова _d2020 215 ## _a3 с. 608 ## _aЖурнальная статья _2local 675 ## _aИнженерное дело. Техника в целом. Транспорт. 62 _z 700 #1 _aКадырметов _gАнвар Минирович 700 #1 _aБухтояров _gВладимир Николаевич 700 #1 _aПопов _gПетр Николаевич 856 4# _anaukaru.ru _u