LDR 01097naa#a2200217#i#450# 001 RU\\bibl\29754 005 20241128061557.4 011 ## _a2071-7318 100 ## _a20160225b2016####ek#y0rusy0150####ca 102 ## _aRU 200 1# _aПОЛУЧЕНИЕ СЛОЕВ GaN И AlGaN С ПОНИЖЕННОЙ ПЛОТНОСТЬЮ ДИСЛОКАЦИЙ МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ АММИАКА _eЖурнальная статья 210 1# _aБелгород _cБелгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова _d2016 215 ## _a4 с. 608 ## _aЖурнальная статья _2local 675 ## _aХимическая технология. Химическая промышленность. Родственные отрасли. 66 _z 700 #1 _aМамаев _gВ.В. 700 #1 _aНовиков _gС.А. 700 #1 _aПетров _gС.И. 700 #1 _aЗайцев _gС.В. 700 #1 _aПрохоренков _gД. С. 856 4# _anaukaru.ru _u