00865naa#a2200193#i#450# RU\\bibl\13540 20241120065001.3 1999-8775 20160930b2016####ek#y0rusy0150####ca RUS RU ОПТИЧЕСКИЕ СХЕМЫ УСТАНОВКИ ГОЛОГРАФИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ НАД ПРОЦЕССОМ ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА Журнальная статья Брянск Брянский государственный технический университет 2016 8 с. Журнальная статья local Поярков Вячеслав Николаевич Белкин Евгений Александрович Марков Олег Иванович naukaru.ru