00752naa#a2200193#i#450# RU\\bibl\10821 20240519102008.7 1609-3178 20160330b2016####ek#y0rusy0150####ca RUS RU Активный синхронный термодинамический метод измерения толщины диэлектрических покрытий Журнальная статья Санкт-Петербург ООО СВЕН 2016 2 с. Журнальная статья local Райнке Нильс Бариска Андор Сясько Владимир Александрович naukaru.ru