00752naa#a2200193#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046101000800087102000700095200020500102210005700307215001000364608004500374700003000419700003200449700006200481856001500543RU\\bibl\1082120240519111737.7##a1609-3178##a20160330b2016####ek#y0rusy0150####ca0#aRUS##aRU1#aАктивный синхронный термодинамический метод измерения толщины диэлектрических покрытийeЖурнальная статья1#aСанкт-ПетербургcООО СВЕНd2016##a2 с.##aЖурнальная статья2local#1aРайнкеgНильс #1aБарискаgАндор #1aСяськоgВладимир Александрович4#anaukaru.ru