LDR 00752naa#a2200193#i#450# 001 RU\\bibl\10821 005 20240909060511.1 011 ## _a1609-3178 100 ## _a20160330b2016####ek#y0rusy0150####ca 101 0# _aRUS 102 ## _aRU 200 1# _aАктивный синхронный термодинамический метод измерения толщины диэлектрических покрытий _eЖурнальная статья 210 1# _aСанкт-Петербург _cООО СВЕН _d2016 215 ## _a2 с. 608 ## _aЖурнальная статья _2local 700 #1 _aРайнке _gНильс 700 #1 _aБариска _gАндор 700 #1 _aСясько _gВладимир Александрович 856 4# _anaukaru.ru _u