LDR 01017naa#a2200193#i#450# 001 RU\\bibl\105058 005 20260204090452.3 011 ## _a2219-0767 100 ## _a20251016b2025####ek#y0rusy0150####ca 102 ## _aRU 200 1# _aМультифизическое моделирование микроэлектронных систем с гетерогенной интеграцией _eЖурнальная статья 210 1# _aВоронеж _cВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова _d2025 215 ## _a7 с. 608 ## _aЖурнальная статья _2local 675 ## _aПрикладные информационные (компьютерные) технологии. 004.9 _z 700 #1 _aАчкасов _gАлександр Владимирович 700 #1 _aЯгодкин _gАлександр Сергеевич 700 #1 _aМакаренко _gФилипп Владимирович 856 4# _anaukaru.ru _u