%0 Journal Article
%T Развитие процесса импульсного лазерного осаждения  наноразмерных структур
%A Шупенев, А.Е.
%A Григорьянц, А.Г.
%K импульсное лазерное осаждение, тонкие пленки, алмазоподобные структуры, высокотемпературный сверхпроводник. пленочный термоэлемент, топологический изолятор
%J Наукоёмкие технологии в машиностроении
%D 2025
%N 2025
%P 6
%I Брянский государственный технический университет