%0 Journal Article
%T Термическая обработка кремния: изменение морфологии поверхности
%A Козловский, А.Л.
%A Калиекперов, М.Е.
%K кремний, термическая обработка, шероховатость
%J Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика
%D 2015
%N 3
%P 4
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова