TY JOUR TI Получение фотоактивных структур Si(n+)/Si(p)/Si(p+) методом ионно-лучевой кристаллизации KW ионно-лучевая кристаллизация KW фотоактивная структура KW внешний квантовый выход JO Вестник Донского государственного технического университета AU Ирха, В.А. AU Чеботарев, С.Н. AU Варавка, В.Н. AU Пащенко, А.С. PY 2013 IS 13 PB Донской государственный технический университет