%0 Journal Article
%T Получение фотоактивных структур Si(n+)/Si(p)/Si(p+) методом ионно-лучевой кристаллизации
%A Ирха, В.А.
%A Чеботарев, С.Н.
%A Варавка, В.Н.
%A Пащенко, А.С.
%K ионно-лучевая кристаллизация, фотоактивная структура, внешний квантовый выход
%J Вестник Донского государственного технического университета
%D 2013
%N 13
%P 7
%I Донской государственный технический университет