@article{Ирха2013получение,
author={Ирха, В.А. and Чеботарев, С.Н. and Варавка, В.Н. and Пащенко, А.С.},
title={Получение фотоактивных структур Si(n+)/Si(p)/Si(p+) методом ионно-лучевой кристаллизации},
journal={Вестник Донского государственного технического университета},
publisher={Донской государственный технический университет},
year={2013},
pages={77-84},
volume={13},
issue={5},
}