TY  JOUR
TI  Обзор методов измерения механической прочности тонких плёнок
KW  механические свойства
KW  прочность
KW  предел текучести
KW  механические напряжения
KW  модуль Юнга
KW  размер зерна
KW  усталость материала
KW  тонкие плёнки
KW  дефекты
KW  деформация
KW  МЭМС
JO  Моделирование систем и процессов
AU  Беспалов, В.А.
AU  Товарнов, Д.А.
AU  Дюжев, Н.А.
AU  Махиборода, М.А.
AU  Гусев, Е.Э.
AU  Зольников, К.В.
PY  2022
IS  15
PB  Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова