@article{Беспалов2022обзор, author={Беспалов, В.А. and Товарнов, Д.А. and Дюжев, Н.А. and Махиборода, М.А. and Гусев, Е.Э. and Зольников, К.В.}, title={Обзор методов измерения механической прочности тонких плёнок}, journal={Моделирование систем и процессов}, publisher={Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова}, year={2022}, pages={110-128}, volume={15}, issue={3}, }