TY  JOUR
TI  Особенности технологического процесса изготовления микросхем космического назначения по технологии КМОП КНС
KW  СБИС
KW  микросхемы космического назначения
KW  КМОП-технология
KW  кремний на сапфире (КНС)
KW  технологический маршрут
KW  проектирование
JO  Моделирование систем и процессов
AU  Зольников, В.К.
AU  Евдокимова, С.А.
AU  Журавлева, И.В.
AU  Маклакова, Е.А.
AU  Илунина, А.А.
PY  2020
IS  13
PB  Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова