%0 Journal Article
%T Особенности технологического процесса изготовления микросхем космического назначения по технологии КМОП КНС
%A Зольников, В.К.
%A Евдокимова, С.А.
%A Журавлева, И.В.
%A Маклакова, Е.А.
%A Илунина, А.А.
%K СБИС, микросхемы космического назначения, КМОП-технология, кремний на сапфире (КНС), технологический маршрут, проектирование
%J Моделирование систем и процессов
%D 2020
%N 13
%P 5
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова