@article{Зольников2020особенности,
author={Зольников, В.К. and Евдокимова, С.А. and Журавлева, И.В. and Маклакова, Е.А. and Илунина, А.А.},
title={Особенности технологического процесса изготовления микросхем космического назначения по технологии КМОП КНС},
journal={Моделирование систем и процессов},
publisher={Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова},
year={2020},
pages={53-58},
volume={13},
issue={3},
}