TY JOUR TI Разработка проектной среды и оценка технологичности производства микросхемы с учетом стойкости к специальным факторам на примере СБИС 1867ВЦ6Ф KW СБИС 1867ВЦ6Ф KW специальные факторы KW технологичность производства KW проектирование KW маршрут проектирования KW микроэлектроника KW специальные факторы JO Моделирование систем и процессов AU Скляр, В.А. AU Смерек, В.А. AU Зольников, К.В. AU Чернов, Д.Н. AU Ягодкин, А.С. PY 2020 IS 13 PB Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова