TY JOUR TI Исследование возможностей применения установки MarSurf Xr 20 для фрактального анализа поверхности KW фрактальный анализ KW установка MarSurf XR 20 KW сканирующий зондовый микроскоп KW метод Херста KW фрактальная размерность JO Журнал технических исследований AU Ивлева, Д.М. AU Бавыкин, О.Б. PY 2019 IS 5 PB Общество с ограниченной ответственностью «Научно-издательский центр ИНФРА-М»