TY JOUR TI Автоматизация измерений параметров шероховатости поверхности KW образцы шероховатости KW шероховатость поверхности KW сканирующая зондовая микроскопия KW Gwyddion KW планшетный сканер JO Журнал технических исследований AU Бавыкин, О.Б. AU Кривозубова, Е.В. PY 2019 IS 5 PB Общество с ограниченной ответственностью «Научно-издательский центр ИНФРА-М»