%0 Journal Article %T Технология получения многослойной металлизации на поверхности кремния с использованием аморфного сплава %A Пашаев, И.Г. %K металлизация, кремний, аморфный сплав %J Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика %D 2014 %N 2 %P 2 %I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова