%0 Journal Article
%T Проектирование радиационно-стойких многослойных крышек МЭМС с учётом термомеханических ограничений
%A Иванин, П.С.
%A Гусев, Е.Э.
%A Дюжев, Н.А.
%K микроэлектромеханические системы, механическая надёжность, многослойная крышка, проектирование радиационно-стойких защитных крышек МЭМС-устройств, термоупругие напряжения, ионизирующее излучение космического пространства
%J Моделирование систем и процессов
%D 2026
%N 19
%P 16
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова