TY  JOUR
TI  Мультифизическое моделирование микроэлектронных систем с гетерогенной интеграцией
KW  гетерогенная интеграция
KW  мультифизическое моделирование
KW  тепловые процессы
KW  механические напряжения
KW  электромагнитное моделирование
KW  перераспределительные слои (RDL)
KW  коэффициент теплового расширения (CTE)
KW  высокоплотные межсоединения
KW  3D-интеграция
KW  надежность микроэлектронных систем
JO  Моделирование систем и процессов
AU  Ачкасов, А.В.
AU  Ягодкин, А.С.
AU  Макаренко, Ф.В.
PY  2025
IS  18
PB  Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова