%0 Journal Article
%T Мультифизическое моделирование микроэлектронных систем с гетерогенной интеграцией
%A Ачкасов, А.В.
%A Ягодкин, А.С.
%A Макаренко, Ф.В.
%K гетерогенная интеграция, мультифизическое моделирование, тепловые процессы, механические напряжения, электромагнитное моделирование, перераспределительные слои (RDL), коэффициент теплового расширения (CTE), высокоплотные межсоединения, 3D-интеграция, надежность микроэлектронных систем
%J Моделирование систем и процессов
%D 2025
%N 18
%P 7
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова