Россия
Воронежская область, Россия
Россия
Россия
В статье рассматривается технологический процесс изготовления КМОП интегральных схем на КНС (кремний на сапфире) структурах для космического назначения. В основу технологии положен процесс КМОП на КНС n-типа с одним уровнем поликремния и двумя уровнями металла. Проанализированы составляющие технологического процесса. Приведена последовательность технологического процесса и ее особенности. Рассмотрен пример описания одного из элементов.
СБИС, микросхемы космического назначения, КМОП-технология, кремний на сапфире (КНС), технологический маршрут, проектирование
1. Современные условия эксплуатации микросхем космического назначения / В.К. Зольников [и др.] // Информационные технологии в управлении и моделировании мехатронных систем. материалы 1-й научно-практической международной конференции. - Тамбов, 2017. - С. 119-126.
2. Алгоритмическая основа моделирования и обеспечения защиты типовых КМОП элементов в процессе проектирования / В.К Зольников., В.А. Смерек, В.И. Анциферова, С.А. Евдокимова // Моделирование систем и процессов. - 2013. - № 3. - С. 14-16.
3. Разработка проектной среды и оценка технологичности производства микросхемы с учетом стойкости к специальным факторам на примере СБИС 1867ВЦ6Ф / В.А. Скляр, В.А. Смерек, К.В. Зольников, Д.Н. Чернов, А.С. Ягодкин // Моделирование систем и процессов. - 2020. - Т. 13, № 1. - С. 77-82.
4. Конструкция и технология микросхем космического назначения / В.К. Зольников [и др.] // Информационно-сенсорные системы в теплофизических исследованиях : сборник научных трудов. - Тамбов, 2018. - С. 229-232.
5. Комаров, А. С. Управление техническим уровнем высокоинтегрированных электронных систем (научно-технологические проблемы и аспекты развития) : монография / А. С. Комаров, Д. В. Крапухин, Е. И. Шульгин. - Москва : Техносфера, 2014. - 240 с. - ISBN 978-5-94836-397-4.
