ВЫБОР ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РЕЖИМОВ АЛМАЗНО-АБРАЗИВНОЙ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ
Аннотация и ключевые слова
Аннотация (русский):
Изложен выбор технологических режимов алмазно-абразивной обработки, обеспечивающих требуемую производительность процесса и качество карбидокремниевых пластин. Установлены взамосвязи скорости съема карбида кремния с длиной поверхностных микротрещин и высотой шероховатости поверхности. Предложена методика назначения технологических режимов, не приводящих к разрушению заготовок пластин при изготовлении приборов специального назначения.

Ключевые слова:
производительность алмазно-абразивной обработки, микротрещины, шероховатость поверхности, карбидокремниевые пластины
Список литературы

1. Душко, О.В. Алмазное шлифование карбидокремниевой керамики для машиностроения / О.В. Душко, В.М. Шумячер. – Волгоград: ВолгГАСУ, 2009. – 80 с.

2. Бишутин, С.Г., Алехин, С.С. Совершенствование технологии финишной абразивной обработки пластин из карбида кремния // Вестник Брянского государственного технического университета. – 2018. – №5(66). – С. 9-13.

3. Бишутин, С.Г., Алехин, С.С. Производительность и качество алмазно-абразивной обработки пластин из карбида кремния // Вестник Воронежского государственного технического университета. – 2019. – Т.15. – №2. – С. 159-164.

4. Пилипенко, В.А. Быстрые термообработки в технологии СБИС / В.А. Пилипенко. – Минск: БГУ, 2004. – 531с.

5. Мужиченко, О.Г., Плис, Н. Термомеханические напряжения в сборочных микроузлах при монтаже БИС. Расчет и эксперимент // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2000. – №6(30). – С. 63-65.

6. Меженный, М.В., Мильвидский, М.Г., Простомолотов, А.И. Моделирование напряженного состояния пластин кремния большого диаметра в процессе термического отжига //Физика твердого тела. – 2003. – Т.45. –№10. – С. 1794-1799.

7. Крайнев, А.Ф. Конструирование машин: справ.-метод. пособие: в 2 т./ А.Ф. Крайнев, А.П. Гусенков, В.В. Болотин [и др.]; под ред. К.В. Фролова. – М.: Машино-строение, 1994. – Т.2. – 624 с.

Войти или Создать
* Забыли пароль?