00875naa#a2200217#i#450# EN\\bibl\91378 20260206122909.5 2658-3488 20241220b2024####ek#y0engy0150####ca RU INVESTIGATING THE REMOVAL RATE OF PYROGENIC SiO2 BY PLASMA CHEMICAL ETCHING Journal article Bryansk Bryansk State Technical University 2024 7 с. Journal article local Взаимодействие плазмы с поверхностью твердого тела. 533.924 Электрические полупроводниковые приборы. 621.382.2/.3 Adamov Artem Aleksandrovich Golovko Alina Sergeevna Malakhanov Alexey Alexeevich Vasil'eva Yuliya Olegovna Pavlov Alexey Viktorovich naukaru.ru