00995naa#a2200241#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046101000800087102000700095200012200102210005400224215001000278608002700288675009300315686007300408686006800481686008000549700003500629700003700664700003700701856001500738EN\\bibl\3503420241230191304.1##a2223-4608##a20200226b2020####ek#y0engy0150####ca0#aRUS##aRU1#aThickness distribution peculiarities of DLS –films obtained by method of pulse laser precipitationeJournal article1#aBryanskcBryansk State Technical Universityd2020##a5 с.##aJournal article2local##aИнженерное дело. Техника в целом. Транспорт. 62zRUS##aОбщие вопросы машиностроения. 55.012grnti##aТехнология машиностроения. 55.132grnti##aМеталлургическое машиностроение. 55.352grnti#1aShupenevgAlexandr Evgenievich#1aKrivosheevgAlexandr Valerievich#1aPonomarenkogSvetlana Leonidovna4#anaukaru.ru