LDR 00820naa#a2200217#i#450# 001 EN\\bibl\29754 005 20240514031220.2 011 ## _a2071-7318 100 ## _a20160225b2016####ek#y0engy0150####ca 102 ## _aRU 200 1# _aGROWTH OF LOW DISLOCATION GaN AND AlGaN layers by ammonia mbe _eJournal article 210 1# _aBelgorod _cBelgorod State Technological University named after V.G. Shukhov _d2016 215 ## _a4 с. 608 ## _aJournal article _2local 675 ## _aХимическая технология. Химическая промышленность. Родственные отрасли. 66 _z 700 #1 _aMamaev _gViktor Viktorovich 700 #1 _aNovikov _gSergey Andreevich 700 #1 _aPetrov _gStanislav Igorevich 700 #1 _aZaycev _gSergey Viktorovich 700 #1 _aProhorenkov _gD. S. 856 4# _anaukaru.ru _u