00712naa#a2200169#i#450# EN\\bibl\126241 20260811043715.2 2658-3488 20260630b2026####ek#y0engy0150####ca RU FUNCTIONAL MODEL OF EQUIPMENT CONTROL FOR MICROELECTRONICS MANU-FACTURING Journal article Bryansk Bryansk State Technical University 2026 5 с. Journal article local Системы автоматического управления (САУ). Кибернетические характеристики систем. Системы по принципу действия. 681.51 Dantsev Oleg Olegovich naukaru.ru