Modeling of systems and processes

Моделирование систем и процессов

2219-0767

41062

10.12737/2219-0767-2020-13-3-53-58

Технические науки

FEATURES OF THE TECHNOLOGICAL PROCESS OF MANUFACTURING SPACE-BASED MICROCHIPS USING CMOS KNS TECHNOLOGY

Особенности технологического процесса изготовления микросхем космического назначения по технологии КМОП КНС

Зольников

Владимир Константинович

Zolnikov

V. K.

Евдокимова

Светлана Анатольевна

Evdokimova

Svetlana Anatol'evna

кандидат технических наук;

candidate of technical sciences;

Журавлева

Ирина Витальевна

ZHuravlyeva

Irina Витальевна

Маклакова

Елена Альбертовна

Maklakova

Elena Al'bertovna

elena.maklakova5@mail.ru

Илунина

Анна Александровна

Ilunina

Anna Aleksandrovna

ailunina@yandex.ru

Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова Voronezh State University of Forestry and Technologies named after G.F. Morozov

13 3 53 58

https://naukaru.ru/en/nauka/article/41062/view

В статье рассматривается технологический процесс изготовления КМОП интегральных схем на КНС (кремний на сапфире) структурах для космического назначения. В основу технологии положен процесс КМОП на КНС n-типа с одним уровнем поликремния и двумя уровнями металла. Проанализированы составляющие технологического процесса. Приведена последовательность технологического процесса и ее особенности. Рассмотрен пример описания одного из элементов.

The article deals with the technological process of manufacturing CMOS integrated circuits on KNS (silicon on sapphire) structures for space purposes. The technology is based on an n-type CMOS process with one level of polysilicon and two levels of metal. The components of the technological process are analyzed. The sequence of the technological process and its features are given. An example of a description of one of the elements is considered.

СБИС микросхемы космического назначения КМОП-технология кремний на сапфире (КНС) технологический маршрут проектирование

VLSI space-based microchips CMOS technology silicon on sapphire (SSC) technological route design

Современные условия эксплуатации микросхем космического назначения / В.К. Зольников [и др.] // Информационные технологии в управлении и моделировании мехатронных систем. материалы 1-й научно-практической международной конференции. - Тамбов, 2017. - С. 119-126.

Sovremennye usloviya ekspluatacii mikroshem kosmicheskogo naznacheniya / V.K. Zol'nikov [i dr.] // Informacionnye tehnologii v upravlenii i modelirovanii mehatronnyh sistem. materialy 1-y nauchno-prakticheskoy mezhdunarodnoy konferencii. - Tambov, 2017. - S. 119-126.

Алгоритмическая основа моделирования и обеспечения защиты типовых КМОП элементов в процессе проектирования / В.К Зольников., В.А. Смерек, В.И. Анциферова, С.А. Евдокимова // Моделирование систем и процессов. - 2013. - № 3. - С. 14-16.

Algoritmicheskaya osnova modelirovaniya i obespecheniya zaschity tipovyh KMOP elementov v processe proektirovaniya / V.K Zol'nikov., V.A. Smerek, V.I. Anciferova, S.A. Evdokimova // Modelirovanie sistem i processov. - 2013. - № 3. - S. 14-16.

Разработка проектной среды и оценка технологичности производства микросхемы с учетом стойкости к специальным факторам на примере СБИС 1867ВЦ6Ф / В.А. Скляр, В.А. Смерек, К.В. Зольников, Д.Н. Чернов, А.С. Ягодкин // Моделирование систем и процессов. - 2020. - Т. 13, № 1. - С. 77-82.

Razrabotka proektnoy sredy i ocenka tehnologichnosti proizvodstva mikroshemy s uchetom stoykosti k special'nym faktoram na primere SBIS 1867VC6F / V.A. Sklyar, V.A. Smerek, K.V. Zol'nikov, D.N. Chernov, A.S. Yagodkin // Modelirovanie sistem i processov. - 2020. - T. 13, № 1. - S. 77-82.

Конструкция и технология микросхем космического назначения / В.К. Зольников [и др.] // Информационно-сенсорные системы в теплофизических исследованиях : сборник научных трудов. - Тамбов, 2018. - С. 229-232.

Konstrukciya i tehnologiya mikroshem kosmicheskogo naznacheniya / V.K. Zol'nikov [i dr.] // Informacionno-sensornye sistemy v teplofizicheskih issledovaniyah : sbornik nauchnyh trudov. - Tambov, 2018. - S. 229-232.

Комаров, А. С. Управление техническим уровнем высокоинтегрированных электронных систем (научно-технологические проблемы и аспекты развития) : монография / А. С. Комаров, Д. В. Крапухин, Е. И. Шульгин. - Москва : Техносфера, 2014. - 240 с. - ISBN 978-5-94836-397-4.

Komarov, A. S. Upravlenie tehnicheskim urovnem vysokointegrirovannyh elektronnyh sistem (nauchno-tehnologicheskie problemy i aspekty razvitiya) : monografiya / A. S. Komarov, D. V. Krapuhin, E. I. Shul'gin. - Moskva : Tehnosfera, 2014. - 240 s. - ISBN 978-5-94836-397-4.