Science intensive technologies in mechanical engineering Science intensive technologies in mechanical engineering Наукоёмкие технологии в машиностроении 2223-4608 24067 10.30987/article_5bf70312413968.90524685 АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ПОДГОТОВКА И УПРАВЛЕНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ TECHNOLOGICAL PROCESSES AUTOMATED CONTROL АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ПОДГОТОВКА И УПРАВЛЕНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ Identification of induction sensor model and deconvolution of input signal spectrum Идентификация модели индукционного датчика и деконволюция спектра входного сигнала Досько Сергей Иванович Dosko Sergey Ivanovich

кандидат технических наук;

candidate of technical sciences;

 Логвин Владимир Александрович Logvin Vladimir Alexsandrovich logvinvladim@yandex.ru

кандидат технических наук;

candidate of technical sciences;

 Шептунов Сергей Александрович Sheptunov Sergey Alexandrovich ship@ikti.org.ru

доктор технических наук;

doctor of technical sciences;

 Юганов Евгений Васильевич Yuganov Evgeniy Vasilievich dezmond-sama@mail.ru Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана Bauman Moscow State Technical University Белорусско-Российский университет Belarusian-Russian University Институт конструкторско-технологической информатики Российской академии наук Москва Россия Institute of Design-Technological Informatics of the Russian Academy of Sciences Moscow Russian Federation Институт конструкторско-технологической информатики РАН Москва Россия Институт конструкторско-технологической информатики РАН Москва Russian Federation 2018 12 32 38 https://naukaru.ru/en/nauka/article/24067/view

Представлены результаты исследований по деконволюции сигнала с измерительного тракта индукционного датчика, что позволяет использовать его для мониторинга и контроля процесса обработки в тлеющем разряде в контролируемых технологических средах с целью оптимизации и воспроизводимости результатов в автоматизированных технологических средах. Использование индукционного датчика позволяет установить влияние изменения формы и амплитуды регистрируемых электро-магнитных импульсов на изменение среднеинтегральной величины тока в разряде, а также определять время выхода установки на рабочий режим, осуществлять оперативное вмешательство на ход процесса и контролировать его завершение.

The investigation results on the deconvolution of a signal from the measuring section of an induction sensor that allows using it for monitoring and control of processing in a glow discharge in controlled processing environment with the purpose of optimization and results reproducibility in automated processing environment are presented. The induction sensor use allows defining the impact of changes in a form and amplitude of recorded electromagnetic pulses upon changes of the mean-integral value of current in a discharge and also defining time of a plant operation mode setting and also performing a rapid impact upon a process and controlling its completion.

 плазма тлеющий разряд деконволюции автоматизированная технологическая среда вакуумные установки plasma glow discharge deconvolution automated processing environment vacuum plants

Prony, R. Essai experimental et analytique // Journal de l’Ecole Polytechnique. Paris. 1796. V. 1, I. 2. Prony, R. Essai experimental et analytique // Journal de l’Ecole Polytechnique. Paris. 1796. V. 1, I. 2. Марпл, С.Л. - мл., Цифровой спектральный анализ и его применения // пер. с англ. - М.: Мир, 1990. - 584 с. Maple, S.L. - ml. Digital Spectrum Analysis and Its Use // transl. from Engl. - M.: Mir, 1990. - pp. 584. Кухаpенко, Б.Г. Технология спектpального анализа на основе быстpого пpеобpазования Пpони // Инфоpмационные технологии. - 2008. - № 4. - С. 38-42. Kukharenko, B.G. Spectrum analysis technology based on Prony rapid transformation // Information Technologies. - 2008. - No.4. - pp. 38-42. Булгаков, Б.В. Колебания. -М.: Гос. изд. технико-теоретической литературы, -1954. Bulgakov, B.V. Oscillation. - M.: State Publishers of Engineering and Theoretical Literature, - 1954. Киренков, В.В., Досько С.И. Типовые обратные задачи и методы их решения при оценке результатов испытаний изделий РКТ // Ракетно-космическая техника. Труды. Сер.XII. Вып. 3. Королев: РКК «Энергия». - 2014. - 100 с. Kirenkov, V.V., Dosko, S.I. Standard inverse problems and methods of their solution at assessment of test results of aerospace engineering // Aerospace Engineering. Proceedings. Series XII. Issue 3. Korolyov: "Energy" Aerospace Engineering. - 2014. - pp. 100. Велихов, Е. П. Физические явления в газовой плазме. - М.: Наука, - 1987. - 159 с. Velikhov, E.P. Physical Phenomena in Gas Plasma. - M.: Science, - 1987. - pp. 159. Физический энциклопедический словарь / Гл. ред. А.М. Прохоров; ред. кол. Д.М. Алексеев, А.М. Бонч-Бруевич, А.С. Боровик-Романов [и др.]. - М.: Сов. Энциклопедия, 1983. - 928 с. Physical Encyclopedic Dictionary / editor-in-chief A.M. Prokhorov; editorial board: D.M. Alexeev, A.M. Bonch-Bruevich, A.S. Borovik-Romanov [et al.]. - M.: Soviet Encyc-lopedia, 1983. - pp. 928. Логвин В.А., Редько В.П., Волченков А.В., Логвина Е.В., Терешко И.В. Пат. № 9963 Респ. Беларусь, МПК С23С 14/38. // Афiцыйны бюл. / Нац. цэнтр iнтэлектуал. улас-насцi. - 2014. - № 1. - С. 205. Logvin V.A., Redko V,P., Volchenko A.V., Logvina E.V., Tereshko I.V. Pat. No.9963 the Republic of Belarus, IPC C23C 14/38. // National Center of Intellectual Property. - 2014. - No.1 - pp. 205.